石墨制品半導(dǎo)體石墨模具的制造工藝

石墨制品半導(dǎo)體石墨模具的制作工藝
    制作石墨制品半導(dǎo)體石墨模具一般選用化學(xué)氣相堆積（CVD）法。此方法是在高溫下，通過(guò)特定氣體在石墨基底上堆積出石墨層，然后進(jìn)行切開(kāi)和研磨，究竟得到所需的石墨模具。此外，熱解法制備石墨制品石墨模具也是一種常見(jiàn)的方法，它通過(guò)熱解有機(jī)前驅(qū)體，得到石墨材料，然后進(jìn)行后續(xù)的加工處理。