石墨制品石墨治具的使用要求
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發(fā)布時間:2024-03-18 16:56:46
石墨制品石墨治具的運用要求
石墨制品石墨治具是用于在半導體制造過程中承載、固定和維護芯片的石墨制件。在運用過程中,需求滿足以下要求:
1.石墨制品石墨治具應具有超卓的導熱功能,以保證芯片在作業(yè)過程中散熱超卓。
2.石墨治具的表面應光滑、平坦,無劃痕或凸起,避免對芯片構(gòu)成危害。
3.石墨治具的規(guī)劃應契合所承載的芯片尺寸和形狀,以保證其穩(wěn)定性和承載才華。
4.運用前應對石墨治具進行預熱處理,以減少熱沖擊對其的影響。
5.運用后應對石墨治具進行清潔和維護,以堅持超卓的作業(yè)情況和延伸其運用壽數(shù)。