光纖維用高純石墨制品的用途

光纖維用高純石墨制品
   （1）石英預(yù)制棒的制效果高純石墨制品。作為光纖資料的石英預(yù)制棒是用VAD(Vapor-phase Axial Deposition)等方法制成的棒狀資料。由于石英預(yù)制棒所含有的氣泡可以構(gòu)成拉絲光纖質(zhì)量缺點(diǎn)，所以有必要在1000℃以上加熱，除掉氣泡，這種加熱爐運(yùn)用籠狀石墨加熱器。別的，為除掉預(yù)制棒中影響透光率的OH基，需要在氯氣中進(jìn)行熱處理，該處理爐中運(yùn)用高純石墨筒。圖2-50所示為經(jīng)過石墨模拉絲的光導(dǎo)纖維。
   （2）光導(dǎo)纖維拉伸線爐用高純石墨制品。光通訊所運(yùn)用的光導(dǎo)纖維的制作工藝為，將直徑少50~100mm的高純石英棒在Ar氣體氣氛及2000℃以上加熱熔融，運(yùn)用其重力下垂拉伸而出產(chǎn)4100um左右的纖維。在加熱爐內(nèi)大量運(yùn)用石墨制品，如高純石墨的加熱器、均熱用的爐芯管、排氣管、保溫筒以及用炭纖維制的保溫資料。為了下降石英中雜質(zhì)的混入量，都運(yùn)用高純資料。圖所示為加熱器形狀的一例。
其他用處炭高純石墨制品
    本文首要說明制作半導(dǎo)體、通訊和電子器械進(jìn)程中所必要的直接部件及其他用處中運(yùn)用的高純石墨制品。