石墨制品：石墨舟的HF清洗步驟

一般石墨制品石墨舟在工作100至150次后就應(yīng)該進行清洗,這是因為石墨舟上的SiN會跟著工作次數(shù)的添加而添加，影響石墨舟的正常運用。
    在室溫條件下(<40°C)，將石墨制品石墨舟的部件放入HF濃度(5–20%)的腐蝕槽內(nèi)進行腐蝕。最好的濃度是10%，腐蝕時間為4~6小時。低濃度條件下，腐蝕槽會被發(fā)生的SiN顆粒污染，因此需求進行守時的過濾維護。濃度高于10%會對操作人員造成危險。全部部件應(yīng)該被分隔放入腐蝕槽內(nèi)而且不可相互接觸，這樣HF酸就能夠腐蝕到任何部位，這關(guān)于石墨聯(lián)接塊而言更為重要。
    在2號純水槽內(nèi)將其用純水漂洗4~6小時。
    用PH-試紙查看活動的水是不是中性的，有必要確保全部的蝕刻殘渣(SiF4)都現(xiàn)已被洗掉，任何蝕刻殘渣被帶入爐管都或許引起沾污或許工藝問題。能夠在石墨上看到白色的一層便是殘渣，全部部件都有必要分隔放置這樣能夠避免酸液殘留在其間。
    在85°C條件下，將別離的舟各部件烘干24小時。
    石墨像海綿相同能夠蓄水并堅持比較長的時間;在100°C以上烘干或許是在未干的狀態(tài)下將其送入爐管會引起水的遽然氣化，這會使石墨分裂。將一個沒有徹底枯燥的舟放入爐管還或許導(dǎo)致爐門邊際的腐蝕以及真空系統(tǒng)的過火堆積。
在供應(yīng)的設(shè)備臺大將舟設(shè)備好。查看有無危害。
    用CentroTherm供應(yīng)的轉(zhuǎn)矩扳手(0.6Nm)擰緊陶瓷螺絲，石墨螺絲比較易碎，因此有必要用手小心擰緊。