石墨靶材產(chǎn)品都有哪些特性?
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發(fā)布時(shí)間:2023-12-26 16:49:03
靶材產(chǎn)品信任很多人都會(huì)有一些生疏,它是有不同資料的靶材,像石墨靶材、金屬靶材、陶瓷靶材等,不同資料的靶材所應(yīng)用的范疇也不一樣,今天來(lái)講講石墨靶材,這種資料的靶材會(huì)有什么展現(xiàn)呢,接下來(lái)看看石墨靶材產(chǎn)品都有哪些特性。
常用靶材:該范疇常用靶材包括鉭/銅/鈦/鋁/金/鎳等難熔金屬。
用處:主要用作集成電路的主要原料 3 功用要求:純度、尺度、集成度等技術(shù)要求高。
1、耐高溫
石墨靶材的熔點(diǎn)為3850±50℃,即便在超高溫電弧中燒制,它也具有十分低的分量損失和十分小的熱膨脹系數(shù),石墨的強(qiáng)度隨著溫度的升高而添加,在 2000°C 時(shí)石墨的強(qiáng)度添加一倍。
2、導(dǎo)電/導(dǎo)熱性
石墨的導(dǎo)電率比一般非金屬礦藏高100倍,導(dǎo)熱性超越鋼、鐵、鉛等金屬資料。隨著溫度升高,導(dǎo)熱性降低,即便在十分高的溫度下,石墨也能起到絕緣體的作用。石墨之所以能導(dǎo)電,是因?yàn)槭械拿總€(gè)碳原子只與其他碳原子構(gòu)成三個(gè)共價(jià)鍵,每個(gè)碳原子都持有一個(gè)自由電子來(lái)傳輸電荷。
3、潤(rùn)滑性
石墨的潤(rùn)滑功能取決于石墨鱗片的大小,薄片越大,摩擦系數(shù)越小,潤(rùn)滑功能越好。
4、化學(xué)穩(wěn)定性
石墨在常溫下具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性,耐酸、堿和有機(jī)溶劑。