半導(dǎo)體石墨制品選的材料是什么?
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發(fā)布時(shí)間:2023-11-17 17:15:19
一、電子器件燒結(jié)
石墨制品可用在各種類(lèi)型的可控硅管、三極管和二極管等器件的管心燒結(jié),假如選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí),還選用石墨舟。
二、絕緣子燒結(jié)模具
石墨模適用于電容器絕緣子燒結(jié);厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié);各種類(lèi)型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié);超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
半導(dǎo)體工業(yè)要求的石墨資料要求特別高的,顆粒度細(xì)的石墨具有精度高,且耐高溫、高強(qiáng)度、損耗小等長(zhǎng)處,比方:燒結(jié)用的石墨制品模具。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)運(yùn)用的石墨設(shè)備(包括加熱器及其燒結(jié)模具)都是需求接受重復(fù)的加熱和冷卻過(guò)程,為了到達(dá)延伸石墨設(shè)備的運(yùn)用壽命,一般要求所運(yùn)用的石墨資料都具有性能穩(wěn)定和耐熱沖擊功用。為了到達(dá)上述的各種要求,我國(guó)現(xiàn)在也研制出了一系列適用于半導(dǎo)體行業(yè)所需求的石墨資料。