中科院石墨烯單晶晶圓研究取得新進(jìn)展，溫度成功降低到750℃

中科院石墨烯單晶晶圓研究取得新進(jìn)展，溫度成功降低到750℃

近日，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所石墨烯單晶晶圓研究取得新進(jìn)展。

信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員謝曉明領(lǐng)導(dǎo)的石墨烯研究團(tuán)隊(duì)首次在較低溫度（750℃）條件下采用化學(xué)氣相沉積外延成功制備6英寸無(wú)褶皺高質(zhì)量石墨烯單晶晶圓。

上海微系統(tǒng)所研究團(tuán)隊(duì)采用藍(lán)寶石作為襯底成功制備出具有更強(qiáng)催化能力的銅鎳單晶薄膜，成功將外延生長(zhǎng)石墨烯單晶的生長(zhǎng)溫度從1000℃ 成功降低到750℃，其制備的6英寸石墨烯單晶薄膜無(wú)褶皺，無(wú)顆粒污染，電學(xué)性能可以與高溫條件下得到的石墨烯相媲美。

單晶石墨烯晶圓的批量化制備是石墨烯在電子學(xué)領(lǐng)域規(guī)?；瘧?yīng)用的前提，低溫外延制備晶圓級(jí)石墨烯單晶對(duì)于推動(dòng)石墨烯在電子學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用具有重要意義。

本文出自東莞市捷誠(chéng)石墨制品有限公司官網(wǎng)：http://jljkgl.com 權(quán)威發(fā)布，    東莞市捷誠(chéng)石墨制品有限公司是一家集銷售、應(yīng)用開發(fā)，產(chǎn)品加工的石墨專業(yè)廠家，專門為模具行業(yè)、機(jī)械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導(dǎo)體及太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關(guān)的石墨制品，歡迎致電13549365158更多關(guān)于石墨制品方面信息，可回本網(wǎng)站產(chǎn)品頁(yè)面詳細(xì)了解點(diǎn)擊：石墨制品  石墨模具  石墨坩堝 石墨轉(zhuǎn)子 石墨軸承 石墨板 石墨棒 石墨匣體 石墨熱場(chǎng) 真空爐石墨制品 電子石墨模具