高純石墨燒結(jié)盤介紹

高純石墨燒結(jié)盤具有許多明顯優(yōu)勢(shì)，在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，以下從特性、運(yùn)用場(chǎng)景、制備工藝及表面處理等方面打開介紹：
特性
    高純度與高安穩(wěn)性：碳含量超過99.99%，在2000℃以上仍能堅(jiān)持結(jié)構(gòu)安穩(wěn)，熱膨脹系數(shù)低至4.3×10??/K，保證高溫環(huán)境下尺寸精度。
    杰出導(dǎo)熱與導(dǎo)電性：導(dǎo)熱系數(shù)高達(dá)120-195W/(m·K)，導(dǎo)電性比非金屬礦高百倍，適用于需求高效熱傳導(dǎo)或電學(xué)功能的場(chǎng)景。
    耐腐蝕與抗氧化：常溫下耐酸堿腐蝕，高溫抗氧化功能通過表面涂層（如碳化硅）可進(jìn)一步進(jìn)步，延伸運(yùn)用壽命。
    自潤滑與低沖突：層狀結(jié)構(gòu)賦予其自潤滑特性，沖突系數(shù)低至0.05-0.1，削減磨損并下降能耗。
    高精度加工性：可加工至平面度<0.1μm，滿意12英寸晶圓加工需求，適用于半導(dǎo)體等精密制造領(lǐng)域。
運(yùn)用場(chǎng)景
    半導(dǎo)體制造：作為晶圓加工基板，支撐3nm芯片制造，通過梯度燒結(jié)技術(shù)優(yōu)化層間應(yīng)力，進(jìn)步彎曲強(qiáng)度至450MPa。
    高溫?zé)Y(jié)與熱處理：用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結(jié)等工藝，承受高溫?zé)o變形，保證產(chǎn)品一致性。
    航空航天：運(yùn)用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片制造，在1600℃環(huán)境下壽命延伸400小時(shí)，滿意極點(diǎn)工況需求。
    新能源領(lǐng)域：適用于電池資料燒結(jié)，其高純度與化學(xué)安穩(wěn)性可防止雜質(zhì)引進(jìn)，進(jìn)步電池功能。
制備工藝
    原料挑選與提純：選用天然石墨或人造石墨，通過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
    高溫?zé)Y(jié)：在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結(jié)，構(gòu)成高度有序的晶須結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)機(jī)械強(qiáng)度與熱安穩(wěn)性。
    脫碳處理：在高溫?zé)o氧環(huán)境中去除殘留雜質(zhì)，進(jìn)一步進(jìn)步純度與化學(xué)安穩(wěn)性。
表面處理
    碳化硅涂層：構(gòu)成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層，延伸運(yùn)用壽命并實(shí)現(xiàn)高純度表面結(jié)構(gòu)。
    鍍層與化學(xué)處理：增加耐磨性、防腐性，進(jìn)步在高溫高壓環(huán)境下的安穩(wěn)性。