什么是直拉單晶爐的熱體系？

       直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也便是所謂的熱場，是指為了熔化硅料，并使單晶成長保持在溫度下進(jìn)行的整個系統(tǒng)。
　　石墨熱場一般包括（石墨資料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了避免漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
　　簡略的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。咱們出產(chǎn)的石墨熱場常見的是18寸，22寸寸和24寸。一種盛行的設(shè)計方案是選用石墨資料制作熱場隔熱部件。規(guī)范的石墨保溫資料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維資料組成，在靠近熱場中心的內(nèi)表面往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合資料薄板用來提高熱反射率和避免高壓氣流的沖刷。由于石墨資料自身所具有的多孔性和可滲透性，各層隔熱資料之間不需求預(yù)留額定的空間。石墨資料具有優(yōu)異的隔熱功用，本錢一般較金屬屏低，并且十分易于運用。就制作本錢，耐用性和可維護(hù)性而言，石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有 的優(yōu)勢。通過出產(chǎn)實踐，金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
　　來自于焊料的金屬物質(zhì)會沉積在金屬隔熱屏的表面，由于隔熱屏與所附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同，金屬隔熱屏?xí)l(fā)生曲折變形與開裂，這會下降金屬屏的隔熱功用。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很簡略遭到危害，導(dǎo)致屏的表面構(gòu)成孔洞，熱量會從這些孔洞中傳遞出去。
　　當(dāng)然，運用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏?xí)由旖饘贌釄龅倪\用壽數(shù)，可是卻增加了可觀的本錢。比較好的解決方案是選用石墨資料制作隔熱部件，實踐證明，雖然在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱資料的表面，可是卻不會發(fā)生熔解的焊料與石墨隔熱資料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會質(zhì)疑，以為石墨資料比金屬資料更簡略吸收水分，水分對釬焊工藝進(jìn)程危害很大，可是，實踐證明熱場循環(huán)往復(fù)的升溫與降溫會很好地打掃石墨隔熱材猜中的水分。

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